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光源组的进度明显要比透镜组的进度要慢得多。
因为透镜组完成的只是按照图纸完成组装而已,核心的光掩膜延用一代,一天就能拿下。
但是负责光源的小组就会面临很多前所未有的难题。
比如液态金属锡低落的时间,激光发射的时间,命中率等等。
图纸可以把硬件做出来,但是这些精准的数据,需要将各种公式和逻辑放入系统之中,让系统来操控。
所以,给光源的部分设计一个系统才是重点。
如果滴落的液态金属锡过大,那么激光的强度就会衰弱。
就好比扬起一把沙子之后在用光照射,那么沙子的浓度越高,光就越难以穿透。
如此一来,控制一滴金属锡的大小浓度需要经过计算。
取到一个最恰当的值,录入系统,让机器来操作。
同样的还有命中率。
极紫外光和合成最关键的就是用深紫外光轰击液态金属锡,而且是两次!
当液态金属锡变成雾状的离子态,必须在极短时间之内,完成第二次深紫外光的命中。
穿过离子态金属锡的光,才能是极紫外光。
如果命中率低,第一次没命中,或者第二次没有命中,都会错过最佳时间,导致极紫外光无法产生。
这样下来,命中率必须达到100!
设计这些东西极其耗费时间。
一周的高强度工作状态下,才算是搞定了这个巨大核心。
而另一边的移动工件台是有一个不弱于光源组的难点。
有何毅伟坐镇,当陆晨加入工作的时候,移动工件台的一些难点已经克服。
三大核心用了半个多月才终于完成。
光刻机的内部硬件已经组装完毕。
又过了几天,光刻机已经成型。
他们开始了第一次芯片制造的测试。
何毅伟和一众教授都来到了实验室的总控台。
陆晨为了观察光刻机的一些运作情况,穿了防尘服,进入净室。
看到陆晨进来,几个工作人员纷纷打招呼。
陆晨点点头,来到了光刻机的旁边。
这台光刻机经过他的设计之后,体积远远没有国外的庞大。
国外的光刻机得有一个集装箱的大小,但是陆晨设计的这一款,只有一半的体积。
在经过他的检测之后,光刻机的状态全部确认完毕。
给总控台比了个手势,净室里的扬声器传来了声音。
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