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第三十二章 光刻机最大问题找到（第2页）

“第1次光刻实验，启动！”

总控台一声令下，涂胶后的晶圆被机械臂吸起，放到了光刻机的履带。

随着履带的转动，晶圆进入了机器。

“光源放光！”

指令还没说完，光刻机的屏幕突然一黑。

“怎么回事？”

主控台传来疑问。

“报告，液态金属锡未被击中，滴落面板导致短路！”

实验显然以失败告终！

陆晨眉头皱了起来。

没有命中，这说明光源的部分还是出了问题。

需要再次调校才能开始第二次试验。

大家并没有气馁。

因为成功一定是一次次的失败之后才能出现的！

停机修整之后。

很快，第二次实验开始。

“报告，双移动工件台同步对准出现异常，导致光刻胶涂层大面积曝光！”

第三次。

“报告，芯片良率太差！”

第四次……

第五次……

经过很多次失败之后，科研小队渐渐开始着急了起来。

所有人都在反复确认各项数据和资料，因为这样每拖一天，都是极大的损耗！

凌晨三点。

大部分的工作人员全部下班回到了宿舍休息。

而在办公楼，还有一个房间在亮着灯。

会议室内，各个小组的负责人开始向陆晨汇报检查结果。

每次试验失败，都要各个小组回到办公室重新做一遍排查。

每一个细节，每一个关键点！

都要像重新制作一样，重新开始。

科研是枯燥的。

很多科研项目一拖就是好几年，很大部分时间，就是在重复的排查被浪费！

不过陆晨心里并没有太多压力，这几天他逐个排查各个小组工作。

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